一、概述

      SR-Mapping 反射膜厚儀系列利用反射干涉的原理進(jìn)行無(wú)損測(cè)量，通過(guò)分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜，同時(shí)搭配R-Theta位移臺(tái)，兼容6到12寸樣品，可以對(duì)整個(gè)樣品進(jìn)行快速掃描，快速準(zhǔn)確測(cè)量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息，并對(duì)于膜厚均勻性做出評(píng)價(jià)。

■ 光學(xué)薄膜測(cè)量解決方案；

■ 非接觸、非破壞測(cè)量；

■ 核心算法支持薄膜到厚膜、單層到多層薄膜分析；

■ 膜厚重復(fù)性測(cè)量精度：0.02nm

■ 全自動(dòng)測(cè)量，測(cè)量點(diǎn)數(shù)跟位置在Recipe中可根據(jù)需要編輯

■ 采用高強(qiáng)度鹵素?zé)艄庠矗庾V覆蓋紫外可見光到近紅外范圍；

■ 采用光機(jī)電高度整合一體化設(shè)計(jì)，體積小，操作簡(jiǎn)便；

■ 基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理，輕松解析單層薄膜到多層；

■ 配置強(qiáng)大核心分析算法：FFT分析厚膜、曲線擬合分析法分析薄膜的物理參數(shù)信息；

三、產(chǎn)品應(yīng)用

廣泛應(yīng)用于各種介質(zhì)保護(hù)膜、有機(jī)薄膜、無(wú)機(jī)薄膜、金屬膜、涂層等薄膜測(cè)量。

技術(shù)參數(shù)